第440章 光刻机项目：另辟蹊径（1/4）
作品:《重生2008：我阅读能赚钱》沐阳研究更新后的阅读系统两个多小时才研究透，兴奋得睡不着。
喝了一杯茶，他想看看芯片制造技术的核心设备：光刻机。
目前市场上，有两种主流光刻机，一个是光刻机，另一个是光刻机。
是深紫外线（ee ltraviolet ithograhy），是极深紫外线（xtreme ltraviolet ithograhy）。
从制程范围来看，基本上只能做到25nm，ntel凭借双工作台的模式做到了10nm，但是却无法达到10nm以下。
只有能满足10nm以下的晶圆制造，并且还可以向5nm、3nm继续延伸。
这个线宽其实就是跟光的线宽有关系，比如可见光的线，那就是436nm，如果用来刻蚀，线路肯定很宽。
可以简单地认为，光刻机的光系统其实就是一支画笔，不同的光代表不同粗细大小的笔芯，越细的笔（光）能够画越细越复杂的画。
就是彩笔，就是中性笔，中性笔画的线条比较细，比较好用。
这么理解，也好理解光刻机到底如何刻蚀电路图了。
当前，国外品牌光刻机主要以荷蓝，岛国ikon和anon三大品牌为主。
的价格是1-3亿美金/台，的价格为2000万-5000万美金/台不等。
目前先进的光刻系统就是光刻机，如果沐阳打算走光刻机路线，必然绕不开别人的技术专利保护范围。
因此，他只能寻找另外光种的光刻机，同时要考虑到光的分辨率、对准精度、曝光方式、光源波长、光强均匀性、生产效率等指标。
就说分辨率，如果制作出来的电路图模糊不清，那芯片肯定不好。
光刻机其它的指标，也可以比喻成画笔的性能就行了。
并不是说，沐阳不能搞光刻机了，只是说，再搞和光刻机，绕不开以上三家企业的技术专利保护范围。
所以，他只能另辟蹊径。
很久之前，沐阳就想到过电子束光刻机。
原本，再过几年，漂亮国的一个实验室研发出一套名为yvexitho1的光刻系统，基于扫描隧道显微镜，使用的是 (-eam ithograhy)电子束光刻方式，制造出了0.7nm线宽的芯片，只是没法实现批量生产，或者成本高过。
沐阳相信，如果是技术成熟的电子束光刻机，线宽比0.7nm更小。
他在系统商店普通货架上默念搜索“电子束光刻机”，很快，搜索出几款相关技术。
沐阳选择适合自己公司的一款技术：01
技术参数：
1.最小线宽：小于1nm
2.加速电压：5-500k
3.电子束直径：小于0.5nm
4.套刻精度：1nm(mean+0.2σ)
5.拼接精度：1nm(mean+0.2σ)
6.加工晶圆尺寸：4-18英寸
7.描电镜分辨率：小于0.2nm
主要特点：
1.采用超高亮度和超高稳定性的电子枪；
2.出色的电子束偏转控制技术；
3.采用场尺寸调制技术，电子束定位分辨率可达0.0002nm；
4.采用轴对称图形书写技术，图形偏角分辨率可达0.002mrad；
5.应用领域广泛，如微纳器件加工，研究用掩膜制造，纳米加工（例如单电子器件、量子器件制作等），高频电子器件中的混合光刻，图形线宽和图形位移测量等。
……
需要成就点：
本章未完，请翻下一页继续阅读.........
《重生2008：我阅读能赚钱》 最新章节第440章 光刻机项目：另辟蹊径,网址：https://www.sanjiange.com/book/273/273669/442.html
